《表1 Mo S2-Al复合薄膜的沉积参数Tab.1 Deposition parameters of Mo S2-Al composite films》

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《MoS_2-Al复合薄膜高温摩擦学性能研究》

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实验选用高温合金钢（型号为GH4169，18 mm×18mm×2 mm）和单晶硅（100）为基底材料。其中，单晶硅试样用于材料的表征测试。利用非平衡磁控溅射在基底表面沉积Mo S2-Al复合薄膜，薄膜沉积之前，先后使用丙酮和乙醇超声清洗各15 min，氮气吹干后，将其置于镀膜腔体内。然后，利用Ar等离子体清洗15 min以除去基底表面的氧化物和污染物。薄膜沉积时，溅射气体为Ar，具体的沉积参数如表1所示。