《表1 不同调制周期的Al/Cu O复合薄膜设计参数Tab.1 The parameters of Al/Cu O reactive films with different modulation p
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将电极塞放入溅射夹具中，依次采用丙酮、乙醇、去离子水超声40min，用氮气吹干，根据优化的薄膜沉积工艺参数，制备了4种调制周期，总厚度为10μm的Al/Cu O多层反应薄膜，实验设计参数如表1所示。
| 图表编号 | XD0025045400 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.02.01 |
| 作者 | 倪德彬、于国强、史胜楠、徐栋、刘剑 |
| 绘制单位 | 陕西应用物理化学研究所、陕西应用物理化学研究所、陕西应用物理化学研究所、陕西应用物理化学研究所、陕西应用物理化学研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
![表1 Al Si9Cu3材料参数[9]](http://bookimg.mtoou.info/tubiao/gif/JXQD202003026_00900.gif)
