《表1 不同控制器跟踪性能比较》

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《基于动态轮廓误差估计的三轴运动平台NNLARC控制》

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为了验证所提出方案的有效性，将所提出的方法与ARC控制器进行比较、图6、7、8为在位置环分别采用NNLARC控制器和ARC控制器时在单轴的跟踪误差曲线；为了验证系统的抗干扰能力，在4 s时向各轴突加100 N的阶跃扰动，并对4 s后单轴的跟踪误差进行分析如表1所示。从表1可以知道出基于NNLARC控制器控制的PMLSM位置跟踪误差在突加扰动后，能使跟踪误差控制在±4μm范围内，具有更好的跟踪精度满足伺服系统对高精度的要求。另外，从图6～7，图8可以看到，在系统突加扰动时，所设计NNLARC能使位置跟踪误差快速趋于零，具有较强的鲁棒性。