《表4 慢增量试验结果:芯片推力方法与MEMS芯片固化工艺的研究》

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《芯片推力方法与MEMS芯片固化工艺的研究》


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寻找先前材料没有改变之前的数据,其中的部分数据推力值虽然没有超出下限,但是有稍微偏低的状况,见表4历史数据推力表。