《表1 不同类型MEMS传感器芯片指标参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于MEMS滑坡深部位移监测技术剖析与应用》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

目前，国际上主流的MEMS加速度传感器芯片供应商主要包括:美国ADI公司、意法半导体（ST Microelectronics）公司、芬兰VTI公司；经过初步筛选认为，适用于深部位移倾角测量的MEMS加速度芯片型号主要包括:ADI公司生产的ADXL213和ADXL355型号，意法半导体公司生产的LIS3DSH和LIS332AR型号；芬兰VTI公司生产的SCA100T型号。各种不同型号的MEMS传感芯片具体技术参数指标见表1。