《表1 MEMS电容式压力传感器性能参数》

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《一种基于SOI技术的MEMS电容式压力传感器》

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采用图7所示的高低温压力测试系统对制作完成的MEMS电容式压力传感器进行了性能测试。首先，对5支MEMS电容压力传感器在-40~85℃及30~120 kPa量程内进行了非线性测试、25℃时的迟滞和重复性等静态性能指标测试。数据显示传感器非线性达到0.04%~0.09%，量程达到30~120 kPa，工作温度为-40~85℃，如表1和图8所示，图中Vo为输出电压，p为压力。然后，对2支MEMS电容压力传感器进行了分辨率测试。先记录每间隔1 Pa的压力输入对应的电路输出的电压值，再计算相邻输出电压值的差和通过最小二乘法拟合的理想电压差的比值。如果电压差比值为50%~150%，则传感器的分辨率达到1 Pa。分辨率实测数据见表2，结果表明传感器的分辨率达到了1 Pa。