《表2 模型形变值比较：电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析》

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《电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析》

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通过图5以及表2的数据可以看出，环形多孔上电极小半径的栅条所产生的形变量要比大半径栅条所产生的形变量要小，同时大半径栅条的形变量又要比条栅形上电极的栅条所产生的形变要小，说明了在形变方面，自主设计的环形多孔上电极出现栅条断裂的可能性要比条栅形多孔上电极出现断裂的可能性要小，可靠性要比条栅形多孔上电极优越。