《表1 微型电容式湿度探针结构参数》

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《微型电容式湿度探针的可行性研究》


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由式(5)及表1结构参数估算探针的电容为1.8 pF,而集成电路芯片CAV444的最小测量电容为10 pF,因此在测量电路中设计了一个30 pF的电容与探针并联。测量电路的电容、电压传递函数为