《表1 模型材料参数：电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析》

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《电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析》

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首先建立了目前湿度传感器领域普遍采用的条栅形多孔上电极的模型[7]，所建模型如图1所示，此次对比仿真实验为了使得对比效果明显，决定对条栅形的建模尺寸选定为100μm×100μm×1μm，栅条的宽度为2μm，间隔为2μm，中间的十字固定梁的宽度是4μm，外框的宽度是3μm，模型的材料选取Al代替Au[8]，其次，自行设计了环形多孔上电极，同样，建模尺寸选为100μm×100μm×1μm，环形栅条宽度为2μm，间隔为2μm，中间的十字固定梁是4μm，外框宽度为3μm，材料同样是铝，材料参数见表1。