《表1 新型柔性压阻传感器的材料选择、电极制备方法及主要参数》

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《智能时代下的新型柔性压阻传感器》

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表1为近年部分新型柔性压阻传感器的材料选择、电极制备方法及主要参数[35，54-63]。电极的制备是柔性传感器制备流程中的关键步骤之一[64]。基于制造过程，柔性电极的制备方法主要分为自上而下和自下而上两类[65]。自上而下的技术包括物理蒸发[66-67]（Physical vapor deposition，PVD）、喷墨印刷[68-69]（Inkjet printing technology）、丝网印刷[70-71]（Screen printing technology）、卷对卷工艺[72-73]（Roll-to-roll technology）和滴涂法[74-75]（Dip-pen technology）等；自下而上的技术包括聚合物辅助金属沉积法[76]（Polymer-assisted-deposition）和离子交换法[77-78]（Ion-exchange technology）。