《表2 与电容式传感器理论位移的平均残差》

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《一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究》

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由图4中的曲线对比可知，经基于几何距离最小化的Heydemann修正算法修正后的位移曲线更接近位移台的理论位移量，其修正精度高于基于代数距离最小化的Heydemann修正算法（NPL）。本文算法的修正位移与电容式传感器理论位移的平均残差如表2所示。电压为1、2、5 V时，使用本文提出的基于几何距离最小化的Heydemann算法修正后的位移值与电容式传感器理论位移曲线的平均位移残差分别为0.067、0.324、4.360 nm，同时，将修正后位移与Jamin干涉仪解算结果进行对比，可以发现，相同条件下，Jamin干涉仪解算结果的残差较大，电压为1、2、5 V时的平均位移残差分别约为0.591、0.410、7.340 nm。以上对比结果可以说明，经本文算法修正后的位移值较Jamin干涉仪解算算法具有更高的修正精度，其修正结果准确可靠。