《表1 修正后的位移曲线拟合优度检验表》

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《一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究》


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修正后位移曲线的拟合优度分析如表1所示。由于压电陶瓷存在迟滞效应,因此应分别计算位移台去程与回程时的相关参数。