《表1 仿真所用参数：基于PZT的500 MHz超声传感器设计和MEMS制作》

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《基于PZT的500 MHz超声传感器设计和MEMS制作》

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利用KLM模型建模，通过MATLAB对传感器的等效阻抗和激发传递函数（输出声压F2和激励电压V之比）进行计算，设传感器的压电层厚度d=4μm，电极面积S=4.9×10-9m2，模拟得到传感器的中心频率为478 MHz，电阻抗为2.17Ω。仿真中所用到各材料的参数如表1所示，仿真结果如图3所示。