《表1 前三阶特征频率：基于MEMS的多模态电磁式能量采集器设计与仿真》

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《基于MEMS的多模态电磁式能量采集器设计与仿真》

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Hz

3) 仿真:磁铁层和线圈层的共振频率点如表1，图2和图3分别为磁铁和线圈的共振一阶和二阶模态云图，三阶模态与二阶模态类似，仅变化了轴旋转方向，磁铁层二阶模态为绕xy对角线旋转，三阶模态为绕x-y对角线旋转；线圈层二阶为绕x轴旋转，三阶为绕x轴旋转。由于线圈层上设计4个独立的回字型线圈，磁铁层和线圈层的绕轴旋转的模态同样可以引起线圈内磁通量的变化，只是各个线圈的感应电动势的方向不一致，由此，整个器件的6种模态都可以产生感应电动势。本文设计的磁铁和线圈都能振动的能量采集器，能把二者共振的频率点错开，使其能在400 Hz以下有6个共振模态，并且能采集z轴方向、x轴和y轴旋转、xy对角线和x-y对角线旋转5个方向的振动能量。