《表6 结构材料参数：针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》

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《针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》

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由表7可以得出结论，在结构和厚度一样的情况下，封装材料的弹性模量越大，结构的一阶谐振频率越高，传感器的带宽越大，但同时声透过封装的衰减也越大；相反的，材料的弹性模量越小，声传递损失越小，但是结构的一阶谐振频率越低，传感器的带宽越小。仿真结果也与理论声学分析的结论相符合，在封装结构尺寸相同的情况下，传感器的带宽和灵敏度两者相互制约，所以在选取传感器的封装材料时应当根据实际情况予以综合考量。