《表1 敏感结构参数：新型MEMS冲击加速度计研究》
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10 VDC供电情况下优化后的敏感结构主要尺寸、灵敏度S和y轴平动横向输出比TSRYX如表1。
| 图表编号 | XD00183147900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.12.20 |
| 作者 | 刘智辉、于海超、王永刚、刘志远 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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