《表2 模态仿真结果：新型MEMS冲击加速度计研究》
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在固支框的4个侧面添加位移约束，将固支框4个侧面固定。敏感轴（Z轴）添加20×104gn惯性载荷，进行模态仿真。模态分析结果见表2。
| 图表编号 | XD00183148200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.12.20 |
| 作者 | 刘智辉、于海超、王永刚、刘志远 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所、中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
