《表1 微机电加速度计敏感结构前五阶模态仿真》

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《一种工程化微机电加速度计研制》

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为了确定摆结构支撑梁的刚度以及摆结构运动形态，对摆结构进行了ANSYS模态仿真，仿真结果如图4所示，从仿真结果可以看出，结构的一阶模态即为Z向摆动的工作模态，模态频率达到3 223.31 Hz，该频率下能够保证支撑梁的Z向刚度，使微机电加速度计在设计量程±50 gn满量程加速度输入时，加速度计闭环系统总刚度为正，仍为二阶最小相位系统。理论上，该一阶频率对应的闭环加速度计量程能够达到±61.7 gn。一阶模态以外的其它模态均为干扰运动，须尽量抑制，表1表明，该结构参数下的二阶模态频率是一阶模态频率的6倍以上，即拉开了与一阶模态频率的差距，从而实现了工作模态和干扰模态的隔离，降低了交叉耦合。