《表4 油腔的前五阶模态频率》

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《针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》

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针对传感器封装内的油腔进行声模态分析，可以得到封装内部的声场特征频率。声学有限元可以计算声腔振动的模态，得到封装内油腔的自然频率以及共振时的声压分布，通过分析介质的声模态，可以得到腔内油介质的自然频率和共振时的声压分布，通过仿真得到油腔的前五阶模态频率如表4所示。油腔的边界条件是底部固定约束，周围其他边界为封装的硬声场壁边界。