《表5 水域和结构的前五阶耦合模态频率》

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《针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》


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由上文可知,结构的一阶模态频率为4 357.09 Hz,而水下封装结构实际的谐振频率为1 700 Hz左右,这是因为封装结构和水域产生了强烈的耦合作用(在真空中没有耦合),因此我们需要考察结构和水域的耦合模态。表5为水和结构的耦合模态前五阶频率。