《表2 微加速度计前四阶模态谐振频率表》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《一种增大质量块的三轴MEMS加速度计的设计》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

由表2可知，所设计的微加速度计结构对称，前四阶模态为沿Z轴平动、沿X轴平动、沿Y轴平动和沿Z轴转动。其中，前三阶是所设计的微加速度计的主模态，其他模态是频率为主模态2倍的杂项模态，这样基本可以实现避免杂项模态对主模态的干扰。同时，三个轴向的共振频率相差较大，说明所设计的微加速度计的交叉干扰较小，符合设计目标。