《表1 加速度计芯片模态分析前四阶固有频率》

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《用于运动姿势捕捉的可穿戴MEMS微型化加速度计研制》

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基于设计加速度计的芯片参数，采用Ansys workbench软件进行了仿真分析。采用模态分析来对设计的加速度计结构的固有频率进行分析。表1给出了加速度计芯片模态分析得到的前四阶固有频率。加速度计芯片结构的一阶振型如图5所示，通过仿真分析得到加速度计芯片结构的一阶固有频率为13.59 k Hz，满足设计要求。