《表2 加速度计性能指标：用于运动姿势捕捉的可穿戴MEMS微型化加速度计研制》

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《用于运动姿势捕捉的可穿戴MEMS微型化加速度计研制》

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加速度计在8 V电源输入下的输出电压与输入加速度信号关系如图11所示。计算得到，加速度计单位电压下灵敏度达到了0.21 m V/（g·V）。图12为加速度计的扫频实验结果图，从图中可以看出，加速度计的扫频曲线的峰值出现在14.22 k Hz，即加速度计的固有频率为14.22 k Hz，表明加速度计在0～14.22 k Hz内的输入频率下都能有较好的响应特性且不被破坏。加速度计各项性能指标如表2所示，证明了孔缝复合八梁结构能够有效缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系。