《表2 结构材料参数:针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》

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《针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》


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本模型中涉及到的具体的材料参数如表1、表2所示,表1为声学材料参数表,表2为结构材料参数。