《表1 材料属性：基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作》

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《基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作》

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在模拟仿真分析中，采用有限元数值仿真软件对窗口上的氮化硅薄膜产生的位移量进行模拟，材料属性如表1所示。当液体封闭在器件里时产生的重力使薄膜窗口发生形变，变形量过大会导致芯片的薄膜窗口破损。以液态水为例，氮化硅薄膜窗口尺寸为250μm×250μm，封装在器件内液态水的高度为200 nm，由重力公式得出水产生的重力为1.225×10-10 N，即