《表1 MEMS传感器的典型应用分析》

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《MEMS传感器技术发展现状及应用初探》

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MEMS传感器应用领域和范围广泛，其微型化的特点对于推动传感器的微型化发展具有重要作用。从MEMS传感器的典型应用上看，主要的应用领域包含消费电子、汽车工业、航空航天空间应用及生物医疗等，其各技术参数和性能指标体系不断完备，形成了多学科交叉融合应用的新技术、新领域。现列表分析MEMS传感器的典型应用，见表1，包含应用领域、应用产品或系统、所用的MEMS传感器案例等内容。