《表2 基准工艺参数组:MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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《MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》


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在前期工艺研究的基础上,结合设备验收过程的数据统计分析,确认基准工艺参数组,工艺参数值设置如表2。