《表2 MEMS平面开关作用前后电阻参数》

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《基于MEMS工艺的安全起爆芯片》

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注：*表示线电阻。

对MEMS平面开关在1A电流条件下进行了通断性能测试，试验结果如表2所示，通电后开关的温度迅速升高，可靠完成线路的通-断转换，表明MEMS平面开关实现了安全保护功能。