《表1 MEMS平面开关参数对比》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于MEMS工艺的安全起爆芯片》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

通过奥林巴斯激光共聚焦显微镜5100、安捷伦5500原理力显微镜、DEKTAK150台阶仪，对微起爆器件关键原件MEMS平面开关进行分析，形貌、粗糙度、厚度性能测试结果分别如图3～5所示，设计参数与测试结果对比如表1所示。