《表1 MEMS二维微镜结构参数》

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《应用于激光雷达的二维静电微镜设计》

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通过式（1）～式（4）可以看出扫描镜的谐振频率与扭转梁长、宽度和镜面直径、镜面厚度有关。实验设计镜面尺寸为4 mm，厚度为40μm二维微镜，快轴扭转频率为1 500 Hz左右，为防止快、慢轴频率互相干扰，设计慢轴频率为500 Hz左右。根据公式设计二维微镜结构参数并计算谐振频率，快轴扭转状态下的谐振频率为1 628.8 Hz，慢轴扭转状态下的谐振频率为418.4 Hz。表1给出了二维微镜结构参数。