《表1 模型参数设置：可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计》

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《可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计》

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利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对MEMS悬臂梁的力学特性进行了理论模拟与分析。通过结构设定、建模、边界确定、网格划分、求解、后处理几个过程，分别选用了与GaAs基和InP基匹配的两种p型DBR结构，材料分别为Al0.1Ga0.9As/Al0.9Ga0.1As和Ga0.47In0.53As0.4P0.6/Ga0.47In0.53As0.9P0.1，如图1（b）所示。在该结构中，悬臂长度为L，宽度为W，中间正方形边长为A；在悬臂末端采用等腰梯形形状，上底边为a，下底边为b，等腰梯形下底角为θ。该结构为三维悬臂单层结构，材料各项参数选取MEMS悬臂梁结构中两种材料的平均值。参数设定如表1所示。