《表1 滤波器结构参数：W波段含非谐振节点的MEMS波导带通滤波器》

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《W波段含非谐振节点的MEMS波导带通滤波器》

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按照2.1节的仿真优化顺序进行仿真，可以得到T型结波导的各个结构参数尺寸，结合对滤波器插入损耗和回波损耗的仿真分析，调整R1和R2两个谐振腔以及四对电感膜片的结构参数尺寸，得到图6中滤波器两种S参数仿真曲线，其对应的最终的滤波器结构参数尺寸如表1所示。图6（a）为传输零点在通带低频端的S参数仿真曲线，滤波器中心频率为96.2 GHz，插入损耗小于0.2 dB，3 dB带宽为1 GHz，最大带内回波损耗为26 dB，传输零点位于94.3 GHz。在95 GHz处的带外抑制为35 dB，97.5 GHz处的带外抑制为20.5 dB。图6（b）为传输零点在通带高频端的S参数仿真曲线，滤波器中心频率为96.1 GHz，插入损耗小于0.2 dB，13 dB带宽为1 GHz，最大带内回波损耗为23 dB，传输零点位于97.1 GHz。在95 GHz处的带外抑制为17.1 dB，97 GHz处的带外抑制为26.1 dB。可以看出，传输零点在通带低频端时，低频端的带外抑制明显大于高频端的带外抑制，反之亦然。