《表1 十字梁结构参数:一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》

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《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》


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通过ANSYS软件进行仿真,对悬臂梁应力进行静力分析,并对其固有频率进行模态分析得到十字梁的结构参数,这里悬臂梁的结构参数与CVH相同,如表1所示。