《表1 十字梁和敏感柱体结构优化参数》
μm
其中,芯片结构关键参数为:敏感梁的宽度和厚度;敏感柱的直径和长度。这4个参数是影响芯片特性的关键因素,影响芯片的灵敏度和谐振频率。综合仿真和测试结果,选取梁和柱体的参数如表1所示。
图表编号 | XD0078260200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.05 |
作者 | 张松、董自强、胡天宇、苗峻、李旭、朱林、唐立赫、张晓桐、王大宇 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
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