《表1 优化前后双十字压电振子结构尺寸对比》

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《双十字压电振子同型弯振模态驱动的平面超声电机》

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基于APDL(ANSYS parametric design lan‐guage，ANSYS参数化设计语言）对式（7）进行编程求解，并借助MAC(modal assurance criteria，模态置信准则）的模态识别技术将迭代过程中的工作模态振型与预设工作模态振型进行对比，以保证压电振子工作模态的纯正性并且逐渐实现压电振子三相工作模态的简并。图7为双十字压电振子工作模态频率一致性优化结果。经过7个迭代步之后，双十字压电振子的面外弯振模态、横杆面内弯振模态及纵杆面内弯振模态的频率分别为43 468，43 552，43 569 Hz。它们之间的最大频率差仅为100 Hz，不超过工作模态频率的5%，故可以认为双十字压电振子工作模态频率已达到一致。优化前后双十字压电振子的结构尺寸见表1。