《表1 压电振子几何参数：半柔性阀压电泵理论与实验》

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《半柔性阀压电泵理论与实验》

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图7为压电泵样机，泵盖和泵体采用有机玻璃制作，复合型压电振子基体用黄铜制作，并与压电陶瓷黏接而成，压电振子与泵腔通过硅胶垫片与硅橡胶连接形成弹性支撑。表1为压电振子几何参数。