《表1 不同基片材料对压电振子变形能力的影响》

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《基于ANSYS压电振子结构最优化模拟分析》

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复合基片由基片和膜片共同组成，其中，基片是压电振子构成中的一个重要部件，提高了压电振子的抗弯强度及压电晶片的使用寿命，有利于压电振子与泵体组装，同时，基片作为电极也具有较好的导电性和焊接性能，而且，不同的基片材料也不同程度地影响着压电振子的变形能力[20]；膜片能够防止振子与输送液体接触，防止振子漏电。利用有限元分析法分析了不同的基片材料对压电振子变形能力的影响。分别选择几种常用基片材料，基片材料直径15 mm，厚度0.2 mm，施加50 V直流电压。经仿真计算后，圆形压电振子中心输出位移如表1所示。