《表1 变形镜材料参数：正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制》

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《正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制》

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有限元分析软件ANSYS对多物理场耦合的计算有着较高的求解精度，使用有限元方法辅助变形镜的设计．研究中使用的压电陶瓷片来自苏州攀特电陶科技股份有限公司，硅片来自苏州晶矽电子科技有限公司．模拟仿真使用的材料物理性能参数如表1.