《表1 三种Bimorph变形镜参数》

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《双压电片变形镜的人眼像差拟合能力分析》

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Bimorph变形镜将两片压电材料薄片按相反的极化方向粘接而成作为驱动层，将其上粘贴的薄镜面精密抛光后镀膜作为反射面，驱动层划分为分立的电极驱动反射面，产生可控变形。图2为三种工艺成熟的Bimorph变形镜电极排布示意图，所有Bimorph变形镜的有效通光口径均为20 mm，驱动电极均采用扇形排布方式，电极数目依次为9、20以及35，三种Bimorph变形镜的具体参数如表1。Bimorph-9与Bimorph-35变形镜的双压电层均由分立电极驱动，而Bimorph-20变形镜第一层分布着1～19号分立电极，第二层是一整块离焦20电极，可以提供较大的离焦变形。