《表3 收集镜椭球反射面结构变形情况》

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《不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响》

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由于收集镜的反射面中只有抛光镀膜的椭球反射面具有光反射聚焦作用，所以只分析椭球反射面的热变形情况。熔融石英、SiC和AlSi基底收集镜椭球反射面的结构变形量情况如表3所示，熔融石英基底收集镜椭球反射面最高变形量为1.60μm；SiC基底收集镜椭球反射面最高变形量为1.11μm；AlSi基底收集镜椭球反射面最高变形量为3.51μm。虽然相同条件下熔融石英基底收集镜椭球反射面的温度升高量较大，但由于其具有较低的热膨胀系数，所以变形量比AlSi基底收集镜椭球反射面变形约小1/2。而SiC的温升小，热膨胀系数比熔融石英高1个数量级，所以变形量稍低于熔融石英基底。