《表2 收集镜椭球反射面温升情况》

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《不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响》

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℃

熔融石英、SiC、AlSi基底收集镜反射面的温升如表2所示，熔融石英基底收集镜反射面最高、最低温升分别为7.68℃、5.64℃，温升差为2.04℃；SiC基底收集镜反射面最高、最低温升分别为1.36℃、1.34℃，温升差为0.02℃；AlSi基底收集镜反射面最高、最低温升分别为1.39℃、1.37℃，温升差为0.02℃。从温升结果看，AlSi、SiC基底收集镜反射面温升相近，温升差在0.01℃量级，较熔融石英基底收集镜反射面温升差小两个数量级。