《表2 钛合金材料参数：压电驱动微夹持器特性分析》

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《压电驱动微夹持器特性分析》

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为了验证第2节理论模型的正确性，通过分析软件ANSYS Workbench 15.0对柔性微夹持器进行有限元仿真分析验证。有限元仿真中所需要微夹持器的材料参数和几何结构参数在表2、3中被全部列出；在有限元分析过程中，为了满足有限元仿真结果的准确性和收敛性，采用微夹持器自适应网格划分同时将仿真结果的收敛性测试设定在5%的范围之内。在输出位移仿真分析中，微夹持器底面作为固定面，将0-Xin的位移负载施加在桥式机构的输入端，可以获得不同输入位移情况下微夹持器输出端在X/Y方向上的形变位移，当PZT沿X轴方向输入端为10μm时，微夹持器的有限元仿真结果如图7所示，图7（a）是微夹持器输出端在Y方向的工作位移大小，图7（b）是微夹持器输出端在X方向上的耦合误差位移。