《表4 微夹持器动态特性分析对比》

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《压电驱动微夹持器特性分析》

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应用ANSYS软件分析微夹持器的动态特性，同时对PZT驱动器施加一个快速正弦扫频信号，通过FFT双通道分析仪分析微夹持器的固有频率响应，微夹持器的模态仿真与实验数据如表4所示。