《表3 微夹持器基本结构参数》

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《压电驱动微夹持器特性分析》


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根据表5所示的不同微夹持器的基本特性参数对比分析可得,在保持大工作行程的基础上,改变微夹持器第一级桥式放大机构的固定位置能够有效提高整体机构的动态特性,相比于参考文献[1]中的微夹持器,位移放大比提高了约1.2倍,动态特性提高了约1.5倍,证明了新型压电驱动微夹持器的优异特性。