《表1 迟滞补偿结果：压电倾斜镜迟滞非线性建模及逆补偿控制》
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从实验结果可以看出，所建立的模型对于压电倾斜镜在X方向和Y方向的非线性现象的补偿效果较好，对比结果如表1所示。
| 图表编号 | XD00131175300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.04.01 |
| 作者 | 刘鑫、李新阳、杜睿 |
| 绘制单位 | 中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
