《表1 五种湿度传感器迟滞误差》

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《Ni掺杂ZnO纳米线湿度传感器的制备与性能》

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式中:ΔHmax表示同一湿度下吸附和脱附的阻值差异；FFS表示满量程输出即不同RH下阻抗最大值。由表1可以看出各个湿敏材料迟滞误差都不大，尤其是Zn0.95Ni0.05O材料湿度传感器，最大迟滞误差仅为1.792，而Zn0.90Ni0.10O材料湿度传感器迟滞则相对比较大。响应和恢复时间是湿度传感器的重要特性参数，响应时间定义为湿度传感器从低湿吸湿到高湿时，其阻抗达到整个阻抗变化的90%所需要的时间。与之相对应的从高湿到低湿的脱附所需时间称之为恢复时间。重复测试响应和恢复四次以上用来检测传感器的重复性，所获得的响应和恢复周期曲线表明，不同摩尔分数Ni掺杂的湿度传感器都具有高度的重复性，响应/恢复持续的时间间隔为120 s，可算出响应时间较快只需3 s左右，恢复时间需要9 s左右，如图10所示，图中t为测试时间。