《表3 4种传感结构传感器在不同湿度环境下的迟滞误差》

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《Sn掺杂ZnO纳米结构湿度传感器的制备与特性》

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传感器迟滞是通过器件在不同相对湿度环境下（相对湿度值从11.3%增加到97.3%，再降低到11.3%）测量的阻抗值得到在相同湿度环境下，传感器正（湿度增大）、反（湿度减小）输出阻抗的不重合程度定义为迟滞[21-22]。敏感材料在湿度环境下，对水分子的吸附和解吸附的速率是不一样的，故有迟滞现象。图7给出基于4种不同材料的传感结构迟滞的比较结果。湿度传感器通常以迟滞误差（表3）来显示阻抗在吸附水分子和解吸附水分子过程中传感器阻抗的变化。迟滞误差（γH）为[23]