《表2 振动传感器的频率响应》

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《多参量微纳集成传感器》

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测量时改变振动台的振动频率，振动台输出加速度的大小以频率为160 Hz时的输出为参考。振动台不同输出频率时传感器的灵敏度测量结果如表2所示。以160 Hz处的灵敏度为参考值，将传感器的灵敏度进行归一化处理，得到幅频特性曲线如图8（a）所示，传感器的相频特性曲线如图8（b）所示。