《表3 振动传感器灵敏度幅值线性度》

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《多参量微纳集成传感器》


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对振动传感器的线性度进行测量时,振动台输出振动信号的频率为160 Hz,不同振动幅值下测得的传感器灵敏度如表3所示,计算可得其灵敏度幅值线性度为-0.33%。