《表1 多参量微纳集成传感器结构参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《多参量微纳集成传感器》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

传感器的灵敏度和固有频率是其重要的性能指标。在仿真时用最大应力表示传感器的灵敏度，传感器结构参数对其性能的影响如图2所示。增加梁的长度、减小梁的宽度和厚度能够增加传感器的灵敏度，但是不利于减小传感器的体积与提高固有频率。梁长度的改变对灵敏度的影响较小而对固有频率的影响较大，在一定条件下可以通过增加梁的长度来提高固有频率，且对灵敏度的影响很小。增加梁的宽度可以提高固有频率和抗横向耦合性，但会导致灵敏度下降。梁的厚度对传感器的灵敏度和固有频率的影响最大，是传感器设计的关键参数。综合考虑各个因素，最终确定传感器的几何尺寸如表1所示。